微電子潔凈室
?在半導體、液晶面板等應用微電子技術(shù)的生產(chǎn)中,其生產(chǎn)車(chē)間需要提供高潔凈度的空氣,其對微粒過(guò)濾和AMC控制有著(zhù)非常嚴格的要求。
???潔凈室潔凈空氣得益于其應用的空氣過(guò)濾設備,根據不同的潔凈室類(lèi)型,需要考慮使用不同的過(guò)濾設備。作為空氣凈化完整方案的專(zhuān)家,山東達潔不僅可以提供新風(fēng)空調箱中的初中效過(guò)濾器,也能提供潔凈室天花板上的HEPA/ULPA以及自帶風(fēng)機的FFU設備,還能夠提供祛除顆粒物的空氣過(guò)濾器和提供控制AMC的化學(xué)過(guò)濾器。